REM-EDX
Analyse
korrelative
Mikroskopie,
Filterpräparation,
Die
3 Betriebsarten,
Spektren
und Materialdatenbank
JOMESA PSE: Elementanalyse mit REM-EDX |
Die drei Betriebsarten JOMESA PSE:
Manueller Modus
Korrelativer größenabhängiger Modus
REM-EDX
Filteranalyse Modus
1.
Manueller Modus:
Das
JOMESA PSE System benutzt die optischen Ergebnisse vom JOMESA HFD um
die "interessanten" Partikel anzufahren und mittels REM
und EDX zu analysieren.
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2. Korrelativer größenabhängiger Modus:
In
dieser Betriebsart benutzt das JOMESA PSE die Ergebnisse der
optischen Analyse (JOMESA HFD) um von allen Partikeln
(größenabhängig) das EDX Spektrum zu bestimmen.
Beispielsweise kann eingestellt werden, für alle metallischen
Partikel größer 400µm EDX Analysen zu machen.
Das
Ergebniss wird in einer zweidimensionalen Material-Größen
Tabelle ausgegeben:
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3.
REM Filteranalyse Modus
In
dieser Betriebsart werden selektive Filterbereiche (oder der
gesammte Filter) mit der hochpräzisen Piezo-Verfahrung
gescannt und mit dem BSE Detektor die Bilder
aufgenommen.
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Mittels Bildanalyse werden die Partikel hinsichtlich Größe bestimmt und von jedem Partikel ein EDX Spektrum aufgenommen. |
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Nach der Analyse werden die
Partikel nach Größe und Materialart sortiert. |
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