顕微鏡連携分析におけるフィルターとパーティクルトラップの使用方法
JOMESAはSEM用フィルターマウントとSEM用パーティクルトラップを製造しています。どちらの製品にも光学顕微鏡(HFD)とSEM(PSE)のどちらでも視認できる2つのマーカーが施されています。 |
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フィルターと粒子をSEMフィルターマウントに固定液で固定 |
SEM用パーティクルトラップには、オプションで個々を識別できるバーコードを付属させることもできます。 |
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低真空下では固定液無しでも分析可能ですが、粒子損失(帯電による飛び跳ね)のリスクが高いため、低真空でも粒子固定液の使用を推奨します。 |
パーティクルトラップの分析は低真空でのみ可能です。 |
専用のフィルター/パーティクルトラップホルダーにより、ホルダーを交換することなくサンプルを直接分析できます。 |
写真:4ステージ用フィルターホルダー |
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