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Filter und Partikelfallen für die korrelative Mikroskopie

JOMESA ist Hersteller von REM Filterrahmen und REM Partikelfallen. Beide Produkten enthalten 2 Markierungen, welche sowohl optisch als auch im REM sichtbar sind. Durch Anfahren der Markierungne in beiden Systemen (HFD und PSE) werden die Partikelkoordinaten relativ zu den Markerpositionen ermittelt.

Filter werden auf JOMESA REM Filterrahm durch eine JOMESA Fixierflüssigkeit angeheftet.

JOMESA SEM Particle traps can be optionally equipped with an unique barcode.





Die Auswertung der Filter ohne Fixierlösung geht nur im Niedig Vakuum. Selbst under diesen Bedingungen ist das Risiko des Partikelverlustes ("Wegspringen durch Aufladung") groß und im allgemeinen nicht akzeptabel. Daher ist auch im Niedrig Vakuum die Partikelfixierung empfohlen.

Die Auswertung der Filter im Hochvakuum erfordert den Einsatz der JOMESA Leitfähigkeitslösung. Diese organische ionische Flüssigkeit enthält nur die Elemente C, O, N und H.

Die Analyse von Partikelfallen ist nur im Niedrig Vakuum möglich.


Speziell konstruierte Filter/Partikelfallen Halter ermöglichen direkte Auswertung der Proben (ohne Umladen).
Unten: Filter Halter für 1er PSE Verfahrtisch

Filterhalter für 4er PSE Verfahrtisch